MOSFET
소자의 분리된 게이트 패턴들 사이에 플로팅
도전 패턴을 형성하여 기생 캐패시턴스를
감소시키고, 온
저항과 항복 전압의 특성 저하를 방지하는 차세대 반도체에 관한 기술임
기술개발배경
기존
플래너
게이트 MOSFET(Planar Gate MOSFET)과
트렌치MOSFET(Trench MOSFET)**은
높은 항복 전압과 낮은 온 저항을 제공하지만, 기생
캐패시턴스(Parasitic
Capacitance) 증가로 인해 스위칭
특성이 저하되는 문제가 있음